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专利名称 一种晶圆级芯片封装结构及其封装工艺 专利类型 发明公布
申请号 2020106986310 申请日 2020-07-20
公开(公告)号 CN111816624A 公开(公告)日 2020-10-23
分类号 0( 发明人 严邦杰;冯驰;林远;陈祥盼
申请(专利权)人
摘要 本发明公开了晶圆级芯片封装结构,包括晶圆,晶圆上设有金属焊垫,金属焊垫上对应设有金属触点,晶圆及金属焊垫外包覆有塑封层,金属触点部分位于塑封层外。本发明还公开了晶圆级芯片封装工艺,包括如下步骤:在载物板上设置晶圆,在晶圆表面设置至少两个间隔的金属焊垫;在金属焊垫上植入焊球;使焊球融化形成金属触点;在晶圆上切割形成凹槽;对晶圆上的凹槽、金属焊垫及金属触点塑封;对晶圆上部的第一塑封层打磨减薄,以露出部分金属触点;对晶圆的下部打磨减薄以形成减薄晶圆;对晶圆的下部塑封处理以形成第二塑封层。能实现多个芯片的封装,提高了封装效率;在现有设备的基础上,缩小了芯片的封装厚度,减低了成本。

关联企业信息

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企业名称 宁波力源科技有限公司 法定代表人 严邦杰
注册资本 5500万美元 成立时间 2001-06-08
企业类型 有限责任公司(外国法人独资) 登记状态 存续
注册地址 浙江省宁波保税区港东大道30号
统一社会信用代码 913302017281265890