2023年10月13日,佳能今天宣布推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造设备,该设备执行最重要的半导体制造工艺——电路图案转移。
除了现有的光刻系统之外,通过将采用纳米压印光刻(NIL)技术的半导体制造设备推向市场,佳能正在扩大其半导体制造设备阵容,涵盖从最先进的半导体设备到最广泛的用户需求